分辨率Z軸（垂直）

0．01μm/±20μm   0．02μm/±40μm   0．04μm/±80μm

測量參數(shù)

Ra、Rz==Ry(JIS)、Rq、Rt==Rmax、Rp、Rv、R3z、R3y、Rz(JIS)、Rs、Rsk、Rku、Rsm、Rmr

顯示范圍

Ra,Rq：0.005μm~16μm；Rz,Rv ,R3z,Rt,Rp,R3z,：0.02μm~160μm Rsm, Rs：1mm；Rmr：0~100%；Rsk：0~100%

圖形

支承率曲線，粗糙度輪廓，直接輪廓

濾波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取樣長度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

評定長度（ln）

Ln= lr×n n=1~5

測量原理

位移式差動電感

觸針

天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑

測力

<4mN

導(dǎo)頭

硬質(zhì)合金，滑行方向半徑40mm

滑行速度

lr=0.25, Vt=0.135mm/s   lr=0.8, Vt=0. 5mm/s   lr=2. 5, Vt=1mm/s 返回 Vt=1mm/s

示值誤差

不大于±10%

示值變動性

不大于6%

電源

內(nèi)置鋰離子充電電池，用DC5V,800mA充電器充電

外形尺寸

158x63.5x46mm

重量（主機）

約300g

工作環(huán)境

溫度：- 20℃ ~ 40℃   濕度：< 90% RH

儲存運輸環(huán)境

溫度：- 40℃ ~ 60℃   濕度：< 90% RH